微電子潔凈室習題
華銳凈化 2021-07-07 10:59 閱讀
微電子習題
一、填空
1. 空氣潔凈度級別以 來確定。
2. 1961年誕生了世界上最早的潔凈室標準即 。1963年底頒發了潔凈室的一個軍用部分的聯邦標準即 。
3. 潔凈空間的污染源主要有 和 兩大類。
4. 廣義的大氣塵既包含 也包含 ,
是專指大氣中的懸浮微粒,粒徑小于 。在美國和日本,和這種廣義的大氣塵概念相對應的是 或者 。
5. 空氣中含塵濃度的三種表示方法 、 、
,潔凈室一般采用 表示方法。
6. 和潔凈室有關的大氣菌主要是 和 。
7. 帶菌微粒的等價直徑是指 。
8. 在潔凈室技術中,最常用的是以
來確定空氣潔凈級別。
9. 潔凈室內的發塵量主要來自 。
10. 微粒過濾器按微粒被捕集的位置可以分為 、 兩大類。
11. 五種過濾機制是 、 、
、 、 。
12. 評價任何過濾器,最重要的特性指標有四項: 、
、 、 。
13. 影響過濾效率的主要因素有 、 、
、 。
14. 氣體純度的表示方法有 和 。
15. 根據氣體純度的不同,通常將氣體純度分為四級,分別為 、
、 、 。
16. 氣體中的雜質從其性質方面考慮,可將其分為 、
、 三類。
17. 氣體中的液體雜質主要指 。
18. 一般要求氣體中顆粒允許粒徑大小為電路設計最小線寬的 以下。
二、簡答
1. 試舉例說明氣體純度的表示方法。
2. 分子篩吸附原理
3. 鈀合金管純化氣體機理
4.儲氫合金瓶制取超純氫的原理及過程