微電子潔凈室習題

微電子習題

一、填空

1. 空氣潔凈度級別以                                           來確定。

2. 1961年誕生了世界上最早的潔凈室標準即                            。1963年底頒發了潔凈室的一個軍用部分的聯邦標準即                  。

3. 潔凈空間的污染源主要有                和                 兩大類。

4. 廣義的大氣塵既包含               也包含                          ，

是專指大氣中的懸浮微粒，粒徑小于         。在美國和日本，和這種廣義的大氣塵概念相對應的是                               或者             。

5. 空氣中含塵濃度的三種表示方法                  、                  、

                      ，潔凈室一般采用                      表示方法。

6. 和潔凈室有關的大氣菌主要是                和                   。

7. 帶菌微粒的等價直徑是指                                         。

8. 在潔凈室技術中，最常用的是以                                      

                                      來確定空氣潔凈級別。

9. 潔凈室內的發塵量主要來自                 。

10. 微粒過濾器按微粒被捕集的位置可以分為             、        兩大類。

11. 五種過濾機制是                     、                     、      

                 、                       、                         。

12. 評價任何過濾器，最重要的特性指標有四項：                         、

                        、                  、               。

13. 影響過濾效率的主要因素有                     、                 、

                          、                  。

14. 氣體純度的表示方法有                      和                    。

15. 根據氣體純度的不同，通常將氣體純度分為四級，分別為                、

                、                、                   。

16. 氣體中的雜質從其性質方面考慮，可將其分為                         、

                               、                                三類。

17. 氣體中的液體雜質主要指                  。

18. 一般要求氣體中顆粒允許粒徑大小為電路設計最小線寬的            以下。

二、簡答

1. 試舉例說明氣體純度的表示方法。

2.  分子篩吸附原理

3. 鈀合金管純化氣體機理

4.儲氫合金瓶制取超純氫的原理及過程