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            微電子潔凈室習題

            華銳凈化 2021-07-07 10:59 閱讀

            微電子潔凈室習題微電子潔凈室習題

            微電子習題

            一、填空

            1. 空氣潔凈度級別以                                           來確定。

            2. 1961年誕生了世界上最早的潔凈室標準即                            。1963年底頒發了潔凈室的一個軍用部分的聯邦標準即                  。

            3. 潔凈空間的污染源主要有                                 兩大類。

            4. 廣義的大氣塵既包含               也包含                          ,

            是專指大氣中的懸浮微粒,粒徑小于         。在美國和日本,和這種廣義的大氣塵概念相對應的是                               或者             。

            5. 空氣中含塵濃度的三種表示方法                  、                  、

                                  ,潔凈室一般采用                      表示方法。

            6. 和潔凈室有關的大氣菌主要是                                   。

            7. 帶菌微粒的等價直徑是指                                         。

            8. 在潔凈室技術中,最常用的是以                                      

                                                  來確定空氣潔凈級別。

            9. 潔凈室內的發塵量主要來自                 。

            10. 微粒過濾器按微粒被捕集的位置可以分為             、        兩大類。

            11. 五種過濾機制是                     、                     、      

                             、                       、                         。

            12. 評價任何過濾器,最重要的特性指標有四項:                         、

                                    、                  、               。

            13. 影響過濾效率的主要因素有                     、                 、

                                      、                  。

            14. 氣體純度的表示方法有                                          。

            15. 根據氣體純度的不同,通常將氣體純度分為四級,分別為                、

                            、                、                   。

            16. 氣體中的雜質從其性質方面考慮,可將其分為                         、

                                           、                                三類。

            17. 氣體中的液體雜質主要指                  。

            18. 一般要求氣體中顆粒允許粒徑大小為電路設計最小線寬的            以下。


            二、簡答

            1. 試舉例說明氣體純度的表示方法。

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